안진호 교수 “EUV 장비, 우주선 제작보다 어려워…컨소시엄 필요”

기술적으로도 한계가 존재한다. 안 교수는 “이전 공정에서 ArF을 도입할 때와 ArF에서 EUV로 변경할 때 상황이 다르다. 전자의 경우 대부분 문제를 예측할 수 있었고, 기존 방법으로 해결 가능한 부분이었다”면서 “EUV는 무엇이 문제인지 알아내기조차 어렵다. 난이도가 다른 기술”이라고 말했다.

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