니콘이 SUNY 연구 재단(Research Foundation for the State University of New York)과 450mm 웨이퍼 대응 ArF 액침 노광 장치의 판매 및 웨이퍼 수탁에 대한 계약을 체결한다고 발표했다.
이 450mm 웨이퍼 대응 ArF 액침 노광 장치는 반도체 주요 5개사(IBM, Intel, GLOBALFOUNDRIES, Samsung, TSMC)에 의한 450mm 웨이퍼 추진 단체 Global 450 Consortium(G450C)에서 프로세스를 개발, 평가에 사용된다. 장치의 출하 시작은 2015년 4월 예정.
니콘이 450mm 대응 ArF 액침 노광 장치 판매에 대한 계약을 체결한 것은 인텔의 수주에 버금가는 역사적인 것으로 2017년 양산 출하를 위해 다른 장치 제조 업체로부터 수주도 기대하고 있다.
450mm 웨이퍼는 이 외 네덜란드 ASML이 EUV 노광 장치 개발 공동 출자 프로그램을 통해 주요 반도체 업체들이 출자 하고 있다.